2.1.2 俄歇电子产生的物理原理
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PHI710先进性和特色
PHI710扫描俄歇纳米探针系统为分析人员提供明确的固体材料表面成分识别和表面化学成分分布。”710″的独特设计可实现全面的成分表征和亚微米表面特征，薄膜结构及表面污染物的二次电子成像。新的高能量分辨率模式能够从俄歇谱和成像中提高了710的化学态识别能力。
3.1 PHI710激发源，分析器和探测器结构:
3.3 无可匹及的俄歇电子能谱仪
同轴筒镜式分析器(CMA)和电子枪提供最全面的俄歇分析能力。CMA提供高灵敏度俄歇分析，包括详细的元素分布，几乎消除了表面形貌缺陷带来的影响。结合垂直安装的初级电子枪、同轴CMA和高精度五轴样品台可分析FIB加工面、垂直侧壁结构和其他高度不规整的表面特征，这些表面是很难或不可能用其他电子枪–分析器配置能分析的。新的高稳定性的电子系统和高性能的初级电子枪可在用户可定义的宽范围内的电压设置下实现高空间分辨率俄歇成像。典型的电子束斑尺寸对应的1nA束流的电压如下图所示。
3.4 高精度离子枪溅射能力
06-350浮动氩离子枪在高或低的离子轰击能量下可进行表面清洁以及俄歇成分的深度剖析。这一独特功能使其可以自上而下地逐层分析缺陷和薄层结构而保持单分子层的深度分辨率。浮动柱状离子枪可产生高电流密度，进而在低轰击电压下也可保证高离子溅射率，使表面损伤最低。低压离子流可用于荷电中和使俄歇能分析许多绝缘样品。恒流量泄漏阀和数列控制可保证离子枪的长期稳定性和溅射率的可重复性。
这种新的高能量分辨率可改善AES图谱和成像中对化学态的识别能力，同时仍然保持带同轴电子源的CMA采集数据的优点:高灵敏度和几乎不受样品表面形貌的影响。用于HR样品托的最大尺寸是12mmx12mm，2.5mm厚，而且在样品位于样品托中轴直径1.0mm范围内可以得到最佳的能量分辨率。
高能量分辨实现俄歇化学态分析:
3.10 样品传递管
可选配样品传递管在真空或惰性气体环境下从另一设备或手套箱里转移样品。传递管可容纳标准的25mm直径样品托。带一个法兰接口可对传递管抽真空或与惰性气体相连。
3.11 进样室照相机
可安装相机对进样室里的样品托采集数码光学图像。当样品进入分析腔室里，此光学图像可用于对样品分析位置进行导航。当样品传送管安装在进样室时，便无法用相机对样品采集光学图像。键控的样品托保持位置校准，当样品托在分析腔室里，可用此图像对样品表面进行光学导航。
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