据美国媒体近日 道，战略问题专家凯特琳·肯尼撰文《白宫下狠招成功了》，指出中国试图自主发展芯片产业，但已经很难解决先进制造设备的问题。即便目前中国在芯片设计和技术方面取得一定程度上的进展，但如果没有制造这些芯片的机器，就无法大批量制造芯片或用于出口。这些制造设备以光刻机为核心，中国至今无法制造这种设备、或被外国企业卡着脖子，就意味着中国在一段时间内在芯片供应方面仍然必须“恳求西方供应”。
光刻是芯片制造中的关键步骤，开发用于光刻的极紫外工具需要十余年时间。尽管光刻机越来越昂贵，但去年中国的光刻设备进口增长了近一倍，可以说是“有价无市”，能买就买。明言要打压中国战略科技产业的美国当然清楚这一点，美国政府商务部去年已将光刻技术纳入了出口限制清单。去年10月有6项新兴技术上榜商业管制清单，包括混合增材制造/计算机数控工具，特定的计算光刻软件，用于为5nm生产精加工晶圆的某些技术，可用于监测电信服务通信的某些软件和亚轨道航天器。
美国实施出口管制的技术，都与芯片制造中最重要的设备光刻机息息相关，尤其是当下5nm芯片已成为高端芯片时代的主流产品，EUV光刻机的重要性可想而知。“用于制造极紫外线掩模的计算光刻技术软件”涵盖EUV光刻所需的特定软件，包括与三维效应、远距离眩光效应、光照方向效应、邻近效应、抗蚀剂中的随机性效应有关的软件，这类软件是在晶圆上做出经过优化的光刻胶图案必需的软件。
不过光用禁止手段是很难阻断市场的。虽然被美国列入实体清单，中芯国际仍与荷兰阿斯麦集团续签协议，从2020年3月至2021年3月期间购买高达12亿美元的光刻机。近日双方修订了该批量采购协议，将原协议期限延长至2021年12月。
就在同时，上海临港新片区发布2021至2025年的专项规划，提出到2025年集成电路产业规模突破1000亿元，等于在目前的规模上五年内再造一个张江。对于中国而言，自己拥有光刻机制造技术已经是如同当年拥有原子弹、火箭卫星一样重要的战略问题，“举国体制”必须尽快发挥威力，创造奇迹。文/PY
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