氮化硅作为一种性能优异的陶瓷材料,具有密度低,硬度高,耐磨损,导热能力强等优异的物理性能以及抗氧化性,抗腐蚀性(尤其是除了HF外的无机酸)的高化学稳定性能等,因此在机械、电子等众多领域占据了重要的地位。
目前关于氮化硅的研究已取得了丰硕的成果,文怀兴等人研究了氮化硅陶瓷轴承润滑技术,张传伟研究了以球磨法在氮化硅表面制备MOS2模,处理氮化硅陶瓷表面还有离子注入法、热喷涂法、激光刻蚀技术、溶胶-凝胶技术等。徐彬构建了β-Si3N4表面模型并对表面能进行计算,潘洪哲采用超软赝势的方法分析了β-Si3N4的电子结构和光学性能,孙美在不同压力下比较了氮化硅多个结构的性能。
β-Si3N4建模与结构优化
优化后的晶胞参数为a=b=7.705627A ,c=2.943081A,α=β=90°,γ= 120°.图1 为优化前后模型对比,Si-N键长发生变化,键角不变,结构优化后原子的坐标位置有所调整,优化过程按照最低能量方向进行,使得氮化硅结构更加稳定合理。

计算与分析
2.1 力学性质
关于六方晶系,独立的弹性常数有5个,判断晶体的力学稳定性,根据Born-Huang标准要求:



图3 的声子态密度(Full)中的间断与声子谱中的带隙宽度相对应。声子态密度图中存在尖峰,尖峰越明显,对应声子谱中的谱线越平缓,频率在25THz处,晶体的晶格波振动最强烈。“Si”和“N”曲线为随机选取的单个原子的声子分态密度图。在0~16THz区域Si和N原子态密度对总态密度贡献相似,16~20.8THz区域Si子的态密度贡献较多,24.5~34.5THz区域N子的态密度的贡献较多。
2.3 热力学性质 图4 中曲线①的纵坐标为温度与熵(S)的乘积,熵是体系中分子运动无序性量度。该曲线中温度与熵的乘积随着温度的增加而单调递增,斜率逐渐增大,曲线越来越陡。这是因为温度增加影响到晶体内原子的运动,温度上升越快,原子运动速率越大,原子运动剧烈。曲线②的纵坐标为焓(H),焓是表征物质的系统能量的重要度量。 H=U+PV(2) 当温度上升时,粒子动能增加,体系中的内能U增加,分子热运动加剧,系统热膨胀现象明显,此时PV 值也在增大,因此曲线②的焓与温度的关系曲线呈现上升趋势。 曲线③的纵坐标为自由能(F),自由能可以表述为热力学中体系内能中外做功的有用能量。 F=U+TS(3) 当温度升高时,内能升高,熵也增加,熵与温度的乘积远远大于内能的值,温度越高,其差距越大自由能的值越低,且恒不大于0。 曲线④表现了热容量与温度之间的关系,热容量随着温度增加而递增,曲线的斜率由大变小,渐渐呈现饱和趋势,最终趋近于常数。温度较低时,固体的热容量是由晶格热振动和电子热运动共同作用,热容量增长较快,温度较高时,热容量主要是由晶格热振动决定,热容为?U/?T=42K,K是常数。

总结
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