使用具有特征波长的软X射线(常用射线源Mg Kα-1253.6 eV 或Al Kα-1486.6 eV) 照射样品表面,和表层原子发生作用,当光子能量大于核外电子的结合能时,可将其中内层电子激发出来,这种电子就叫做光电子。
这些光电子的能量具有高度特征性,通过检测器检测光电子的动能和光电子的数量,就可以得出样品表面元素的化学状态及含量。
软件数据处理(一)
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