半导体测试设备有哪些？

科技进步，半导体先行。半导体测试行业历来是成为 会各界的焦点。半导体测试是保证芯片良率的关键，随着半导体制造工艺要求的提升，测试设备在半导体制造过程中的地位不断提升。SPEA在半导体测试领域耕耘多年，始终保持着行业领先地位，今天和大家聊一聊半导体测试设备。

半导体生产制造工艺复杂，为了提升良品率，会采用多种类型测试，业内根据测试环节分为前道测试和后道测试设备。

前道测试设备也称作过程工艺控制，可以进一步细分为缺陷检测（inspection）和量测（metrology）主要进行物理和功能性方面的测试，在晶圆生产过程中，每完成一步工艺都需要用相应的测试设备来检测产品良率和缺陷。

后道测试设备主要通过电性能测试提高良率及产品质量。用于晶圆加工前的设计验证环节和晶圆加工后的封测环节，通过测试机和分选机或探针台配合使用，分析测试数据，确定具体失效原因，并改进设计及生产、封测工艺。

半导体测试设备主要分类

半导体测试设备主要分为探针台、分选机、测试机等。其中测试功能由测试机实现，而探针台和分选机实现的则是机械功能，将被测晶圆/芯片拣选至测试机进行检测。探针台和分选机的主要区别在于，探针台主要用于晶圆检测，而分选设备则是用于封装的芯片级检测。

半导体测试机测试半导体器件的电路功能、电性能参数，具体涵盖直流参数（电压、电流）、交流参数（时间、占空比、总谐波失真、频率等）、功能测试等。根据测试对象的不同，测试机又细分为SoC、存储、模拟和RF等类别，其中数字测试机主要包含SoC和存储测试机两大类。

测试机分类图

以上就是半导体行业主流的测试设备分类概况，更多半导体测试设备内容请关注下期分享。