SECS/GEM半导体协议介绍视频

SECS/GEM半导体软件开发 金南瓜半导体讲解

GEM 是指 SEMI E30 标准,它使用 SEMI E5标准中定义的消息类型的子集来描述设备行为和通信的通用模型。

SECS（半导体计算标准）/GEM（通用计算模型）是半导体设备和晶圆组主机之间通信的通信接口协议。 Fab 主机是一个软件应用程序，它使用 SECS/GEM 协议来控制和监视设备的处理。 符合 SECS/GEM 的设备可以使用 TCP/IP（使用 SEMI 标准 E37 和 E37.1 = HSMS）或 RS-232（使用 SEMI 标准 E4 + SECS-I）与晶圆组主机通信。 SECS/GEM 标准接口用于启动和停止设备处理、收集测量数据、选择产品配方和更改变量。 使用 SECS/GEM，您可以以标准方式执行所有这些操作。 SECS/GEM 协议由非营利组织 SEMI 标准化。 有关 SEMI 标准和 SSECS/GEM 协议的详细信息，请查看 

简而言之，SECS/GEM 标准定义消息、状态机和方案，以便工厂主机应用程序可以控制和监视制造设备。 创业板标准正式指定为SEMI标准E30，但有时称为创业板或SECS/创业板标准。 创业板对设备制造商和设备供应商都有好处，因为它定义了一组通用的设备操作和通信功能，以提供支持功能和制造灵活性。 由于创业板标准具有较少的半导体特定功能，因此也用于其他制造商，如光伏。

SECS/GEM 标准提供的功能包括：

• 晶圆房主机启动和停止处理
• 晶圆房主机选择、下载和上传设备之间的配方
• 晶圆系统主机查询设备以了解各种工艺参数和设备配置值。
• 晶圆制造主机设置设备配置参数值时
• 对于向晶圆房主机发送警 的设备
• 晶圆主机定义各种变量的 告，并将其与批次启动或晶圆完成等事件相关联。
• 向 Fa布主机发送各种事件和相关 告的设备

由于 SECS/GEM 是一种通信协议，因此它独立于平台和技术以及编程语言。 连接的主机端在工厂提供的计算机系统上运行，连接的设备端在设备制造商提供的控制器计算机上运行。 这为工厂和设备制造商提供了互操作性、灵活性和平台独立性。 只要符合 SECS/GEM 标准，晶圆和 OEM 都可以开发软件应用程序，而不必担心通信兼容性。

为设备制造商 （OEM） 和工厂 （FAB 或 ATM） 提供安全软件/GEM 软件解决方案。 通过将 计算即插即用软件与设备的设备控制器软件集成，OEM 可以显著降低使设备符合 SSECS/GEM 要求的成本和时间。 同样，EIGEMHost 是一款 CAS/GEM 软件，用于 FAB 和 ATM（装配和测试制造）与工厂内的各种设备进行通信。 EIGEMSim 是一个模拟器软件，用于 SECS/GEM 测试。 这是一个软件，可以配置为主机或设备来测试其他SECS/GEM通信。

SECS 描述使用单个连接的主机和设备之间的通信。 在原始概念和当今最常见的方案中，设备提供单个 SSECS 接口，该接口仅由单个主机使用。 SECS 定义的消息类型部分不对称。 某些消息类型仅由主机定义，而其他消息类型仅对设备定义，但许多消息类型在任一端都定义用于同一目的。

但是，SECS 标准规定通过为每个消息指定设备标识值来共享连接。 不建议在新部署中共享连接。 通常的做法是，连接将保持很长时间，并且仅在设备或主机重新启动时挂起。 SECS 连接重量轻，占用的 络带宽较少。 您可以在典型的台式计算机上运行多个安全点连接。