SCOUT 薄膜分析软件

SCOUT是一款适用于 Windows 7/8/10 操作系统的薄膜分析软件。大多数客户通常使用它比较测量光谱与模拟光谱,以从光学测量中提取信息。仿真是基于物理模型,即光谱是基于材料常数(复折射率)和几何形状(层厚度)的假设计算的。参数拟合成功后,得到了光学常数和层厚值。

所得结果与光学模型的质量直接相关。原厂在光学常数模型的开发上投入了大量的工作和经验。此外,处理典型薄膜缺陷的理论,如表面粗糙度或深度梯度已被整合。分析成功的另一个因素是 SCOUT 拥有与真正光谱仪相同的出错能力:你可以考虑入射角分布、有限光斑大小或偏差的影响。

SCOUT可以用于科研,也可以用于工业上的实时生产控制。它可以自行测量,驱动光谱仪硬件,也可以连接到一个测量系统来接收被测量的光谱进行分析。全球有一些光谱仪公司使用SCOUT作为薄膜分析的综合分析工具。

可以计算以下类型的光谱:

? 反射率(或它的任何用户自定义函数)
? 透光率(或它的任何用户自定义函数)
? 吸光度(或它的任何用户自定义函数)
? ATR(或它的任何用户定义的函数)
? 椭圆光度法
? 光致发光
? 电致发光

SCOUT — 光学模型

光学常数模型

? 自由载流子的经典Drude模型
? 自由载流子的扩展Drude模型
? 谐振子模型
? brendel扩展振子模型
? Kim扩展振荡器模型
? Leng振子模型
? 非晶态材料的OJL带间跃迁模型
? 晶态材料的Tauc-Lorentz带间跃迁模型
? 光学常数(包括选择定义柯西模型)的用户定义表达式
? 输入光学常数

非均匀材料的各种有效介质理论

? Maxwell Garnett (M G) 理论
? Bruggeman理论
? Looyenga 理论
? Bergman 表征

波在层叠中的传播

? 分波的相干或非相干叠加
? 超晶格的简单定义
? 修正粗糙表面的散射损耗
? 非均匀厚度层的有效平均算法—理想状态下的相干和非相干叠加
? 逐渐变化光学属性的简单定义
? 任意数量的层
? 任意数量的层堆叠

可计算

? 反射(或它的任何用户自定义函数)
? 透光率(或它的任何用户自定义函数)
? 吸光度(或它的任何用户自定义函数)
? ATR(或它的任何用户自定义函数)
? 椭圆光度法
? 对图案样品进行光谱平均
? 光致发光
? 致发光
? 任意数量的光谱
? 在某一层的吸收
? 层组的片电阻
? 吸收的深度依赖性
? 电场深度依赖性

SCOUT — 参数拟合

? 鼠标驱动滑块运动直观展示“visual”参数变化
? 多维参数预扫描(“ 格拟合”)
? 自动参数拟合,以调整模拟测量光谱
? 全局主参数控制任意数量的模型参数-使参数可以耦合
? 同时拟合多个光谱,如反射率和透射率
? 使用一系列适配参数集的用户自定义适配策略
? 输入光谱集的自动批量拟合

SCOUT — 其他功能

? 选中光谱的用户自定义视图无数量限制,光学常数或参数显示在主窗口,任意位图和元文件可作为背景图片、插图和解释。
? 输出到打印机,元文件,位图,PDF文档或剪贴板
? 集成计时器,触发事件和执行用户定义动作的自动化脚本实现了强大的自动化功能。除了实现复杂的计算和实时动画,您还可以自动采集数据:检测新样本的到达,根据样本移动光谱仪系统,在指定位置获取光谱并将结果存储在数据库中。
? 集成模块解决硬件组件,如光谱仪(OceanOptics、HunterLab、tec5、Avantes、JETI)、1~3维驱动器(移动物体)和传感器(温度、颜色)。
? 通过OLE自动化远程控制SCOUT:使用MS Word、MS Excel、LabView或Windows Scripting Host (WSH)或Bruker OPUS VB-Scripts创建自动 告和批处理操作
? 包括光学常数的大型数据库
? SCOUT与MySQL和Microsoft SQL server数据库结合使用,交换完整的程序配置、光学常数、层堆栈、光谱和样本信息

SCOUT — 屏幕截图

SCOUT — 主窗口启动

光学常量模型教学

同时拟合8个光谱

批量拟合示例:玻璃上镀银

批处理控制窗口显示结果

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