在这篇文章中，演示了在钛薄膜上形成纳米尺度阳极氧化物的设备，以及在接触或半接触模式下使用NTMDT公司的求解器PROTM AFM对其进行表征。众所周知，在电场的影响下，当不同材料的表面相对于带负电的电极带正电时，氧化膜在表面上生长，这种电化学反应被称为阳极氧化，在图1中，显示了老挝的原理方案，在空气或任何潮湿的大气中，探针和样品表面通常被一层吸水薄膜覆盖。当尖端足够接近表面时，这些被吸收的层接触并通过毛细作用形成电解质桥。在尖端施加负电压时，尖端下方的钛表面将发生电化学反应。
图4显示了使用NANOLITHTM软件的光栅模式老挝的典型示例，在加载位图掩模之后，在扫描期间，在最小和最大掩模色调之间成比例地施加电压，并且阳极氧化物生长到不同的高度，以给出几纳米尺度的浮雕。
传统的压电管扫描仪具有较大的残余非线性和蠕变效应，这些干扰极大地影响了光刻操作的性能，在求解器PROFM中，我们解决了这一关键问题，为了提高扫描性能，扩大仪器功能，增加了使用等效扫描仪技术的闭环控制，闭环等效器(CLE)扫描仪是工作扫描仪的外部双胞胎，它有电容传感器，可以记录扫描仪在X、Y和Z尺寸上的实际运动。工作和等效扫描仪平行连接到辅助控制单元，然后再连接到SPM控制器，以提供运动同步和闭环控制的扫描。实验表明，在闭环操作下，AFM显著提高了表面图案化的性能。
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