上扬软件董事长吕凌志：晶圆厂MES发展历程和实践感悟

11月2日，2021年中国集成电路制造年会暨供应链创新发展大会（第24届）在广东广州举行。在会议的高峰论坛上，上扬软件(上海)有限公司董事长兼CEO吕凌志博士带来了以《晶圆厂MES发展历程和实践感悟》为主题的演讲。

上扬软件(上海)有限公司董事长兼CEO吕凌志博士

吕凌志表示，MES即Manufacturing Execution System，实际上是制造执行系统，用简单的话来讲就是晶圆厂流片的生产管理即自动化系统。作为晶圆厂的Foundry更有挑战，例如多品种小批量生产、客户数较多、产品较杂，需要做到多快好省、产量增大、做得快，客户准时交货，又好，质量有保证，又省钱。一直以来，各大晶圆厂都围着这个目标转，但是技术手段在变，自动化程度在提高，容错率特别低。

那么为什么晶圆厂MES非常重要呢？吕凌志解释道，晶圆厂都是百亿级的投资，而且半导体制造领域的投资，80%都是在晶圆厂，设备贵，系统也贵。

会议上，吕凌志提出了晶圆厂里的MES三大核心关键观点。首先就是流程定义到位。Recipe作为工艺流程里面最小的组成单位，为了保证正确，在整个MES测试中，保证单元测试、基层测试、上线测试，以及最后的线上试用测试，确保每一个Recipe到位。其次就是管设备，不管是工艺设备还是搬运设备都与软件集成。最后是参数管理，因为晶圆厂是大型量产，需要在每天数据采集以后，做到随时做管控。对于MES，在实际运营的时候，人、机、料、环所有的因素都需要用数据严格定义到位。

“MES是制造执行管理，不同的用户有不同的看法，工艺工程师定义工艺，设备工程师看设备状况，厂长每天早上定时看出货，看异常，IT部门要管 络、服务、数据库、软件。” 吕凌志指出。此外，他还提到，“晶圆厂有18个子系统，最核心的是MES，但目前整个晶圆厂的MES都卡住了，12英寸晶圆厂用的都是国外的系统。”

“晶圆厂数据量大，需要实时的数据，每天可达到亿到十亿级，系统的可靠性。量产以后，换MES也不太可能。但一旦发生意外，可能就需要70%或者80%的处理，这就需要我们随时待命。”吕凌志表示，我可以自豪的说，中国晶圆厂8英寸的量产线，3万片以上，就上扬突破了，是唯一一套国产却能做到8万片。希望以后可以冲到12英寸，同时也希望未来10年把公司做到千亿市值，未来20年希望12英寸全自动机械国产化。

最后，吕凌志讲解了他的感悟，感悟就是迭代！技术在迭代，从4、5、6英寸到8英寸、12英寸。团队也在迭代，从小到大、从弱到强、从A轮、B轮到C轮融资。这是历史的迭代，队伍稳扎稳打。