精益生产：软件及操作改善提升手动镭刻机产能

今年以来，因生产原因，外延片表面需要镭刻WaferID。厂内有一台手动镭刻机，投入使用后，由于需要人工录入资料、取放片，1分钟只能镭刻1片，效率较低且需要安排额外的人力操作。秉承控制成本的意识和理念，外延制造部考虑在不增加人力的情况下，通过方法改进，提升手动镭刻机的产能。

经过对手动镭刻机的软件研究和操作方面的深入观察发现，镭刻机的软件和人员操作流程上，均存在优化改善的空间。

?软件方面的优化

由人工录入资料改为资料导入镭刻机后按照“盒 ”和“新序 ”的顺序自动读取。

将需要镭刻的外延片的Excel表格资料上传到镭刻机内，软件设置成按照“盒 ”和“新序 ”的顺序自动读取“镭射刻 ”信息，如下图所示。

?人员操作方面优化

可优化动作：

a. 人员每次取放片需要按一次“Start”按钮。

b. 人员放片完成后使用鼠标双击镭刻码框架，录入镭刻码信息。

c. 资料录入后使用鼠标点击“打样”按钮。

镭刻信息录入界面

优化后动作：

1. 变更为放第一片按一次，后续不需要再按。
2. 取消双击，自动录入。
3. 取消点击，改为用脚踩下踏板。

大暑 · 烈日炎炎

目前，优化的内容已经过实际验证可实现，可在不增加人力的情况下更高效地完成镭刻任务。

改善前：

采取手动镭刻的方式，在当前人员分工情况下，2000片镭刻任务需要2天多时间才能完成。

改善后：

同样的设备和人员分工，2000片镭刻任务大半天即可完成，大幅提升制程流转速度。

小结

该项目为红黄外延制造针对镭刻机做的改善提案，其他工段可在本工段内进行类似推广，从操作流程或者软硬件方面优化改进，从而为公司节约成本。

兆驰半导体